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Durch die schonende Vereinzelungstechnologie wird im Serienbetrieb eine Bruchrate kleiner 0,4 Prozent erreicht Die Anlage lässt sich mit drei Beladestationen ausstatten
Beim Kauf von Vereinzelungssystemen zur Endreinigung von Solarwafern haben sich jüngst ein großer deutscher Produzent sowie ein osteuropäisches Unternehmen für ACI-Ecotec entschieden. Für deren System sprechen ein hoher Durchsatz von bis zu 4300 Wafern und eine Bruchrate von nur 0,1 Prozent.
Durch die schonende Vereinzelungstechnologie wird im Serienbetrieb eine Bruchrate kleiner 0,4 Prozent erreicht Die Anlage lässt sich mit drei Beladestationen ausstatten
Vereinzelungssysteme zur Endreinigung von Solarwafern

Anlage schafft 4300 Wafer pro Stunde

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Beim thüringischen Waferhersteller fiel der Zuschlag für das Ecosplit IXL nach einer Versuchsphase, in der das Unternehmen auch zwei Wettbewerbsprodukte testete. Ausschlaggebend war zum einen der hohe Durchsatz. Er liegt im Normalbetrieb bei über 3000 Wafern pro Stunde, in Spitzenzeiten werden sogar mehr als 3600 vereinzelt.

Dafür verfügt das System über zwei Beladestationen, auf die gesägte Wafer nach der Vorreinigung und manuellen Kontrolle in Stacks mit jeweils bis zu 250 Stück aufgesetzt werden. So kann die Anlage auch im laufenden Betrieb beladen werden. Dies war für den Waferhersteller ebenfalls investitionsentscheidend. Inzwischen haben die Thüringer bereits das dritte Vereinzelungssystem in Zimmern bestellt.

Ein weiteres Argument war die patentierte Vereinzelungstechnologie, die ohne aufwändige Greifer- oder Handhabungssysteme auskommt. Bei der so genannten Dealing-Technik wird – wie beim Kartenausteilen – der jeweils unterste Wafer durch ein spezielles Walzensystem aus dem Stapel entnommen. Durch diese einfache und schonende Vereinzelungstechnologie wird im Serienbetrieb beim thüringer Unternehmen eine Bruchrate kleiner 0,4 Prozent erreicht.

Für seinen Produktionsstandort in Spanien suchte ein osteuropäischer Waferhersteller ein Vereinzelungssystem, das einen Durchsatz von mindestens 3600 Wafern/h garantiert. Hier hat ACI-Ecotec sein System kundenspezifisch erweitert und etwa die Beschickung um eine Beladestation auf insgesamt drei erweitert sowie die Anzahl der Transporteinheiten zum Reinigungssystem entsprechend angepasst. Durch diese Modifikation wird nun sogar ein Durchsatz von 4300 Wafern/h erreicht.

ACI-Ecotec GmbH & Co. KG www.aci-ecotec.com

30.04.2010


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