Die vollautomatischen Wafer-Vereinzelungssysteme Ecosplit-IXL vereinen eine schonende, Waferbruch vermeidende Vereinzelungstechnologie mit hohen Durchsatzleistungen. Die Maschine bewältigt im Standardaufbau bis zu 3600 Wafer/h und erreicht durch kundenspezifische Anpassungen sogar 4300 Wafer/h.

Zur Vereinzelung aus dem Stapel werden die gesägten Wafer nicht von oben gegriffen, sondern schonend von unten über ein Walzensystem abgezogen – was die Bruchrate bis auf 0,1 % minimiert. Der gesamte Vereinzelungsprozess vom Einlegen der Wafer bis zu deren Übergabe an die Reinigung wird mit Sensoren überwacht – mit denen es aber in der Vergangenheit stets Probleme gab.

Grund war zum einen der Kontakt der Sensoren mit einer Slurry aus demineralisiertem Wasser mit Bestandteilen organischer Säuren und µ-großen Siliziumpartikeln, welche von den Wafern aus den Vorprozessen mit in das Vereinzelungssystem verschleppt werden. Zum anderen werden die Wafer im Vereinzelungsprozess andauernd befeuchtet – und damit auch die Sensoren, die in diesem Umfeld ihre Detektionsaufgaben wahrnehmen sollen. Die bislang eingesetzten Sensoren hielten diesen Bedingungen nicht Stand. Wasser im Stecker sowie im Gehäuse führte regelmäßig zum Ausfall der Sensoren, zu einem Stillstand der Anlage und zu hohem Wartungs- und Instandsetzungsaufwand.

Auf der Suche nach Abhilfe wurde ACI-Ecotec auf die WTB4S-3-Inox-Sensoren von Sick aufmerksam. Diese punkten überall dort, wo Objekte unter schwierigsten Bedingungen zu erfassen sind und der Sensor möglichst klein und robust sein muss. Zudem bieten die Lichtschranken und -taster der W4S-3 Inox-Reihe neben hohen Reichweiten und Funktionsreserven auch eine gute Fremdlichtsicherheit. Durch einen doppelten Pin-Point-Sende-LED können die Lichttaster „räumlich" sehen, wodurch der Sensor die beste Hintergrundausblendung seiner Klasse erreicht.

Um die bestmögliche Detektionslösung zu finden, unterzog man bei ACI-Ecotec die Sensoren verschiedener Hersteller eingehenden Tests. So wurden alle Geräte zunächst über sieben Tage hinweg im 3-Sekunden-Zyklus in die Slurry getaucht. In einem zweiten Test erfolgte mit der gleichen Slurry eine tagelange Berieselung der Sensoren. Bei der Auswertung waren bei den WTB4S-3 Inox weder ein Eindringen von Wasser in den Stecker oder das Gehäuse noch äußere Anzeichen von Materialunbeständigkeit oder Korrosion feststellbar. ACI-Ecotec setzt die Inox-Baureihe daher künftig auch in anderen Anlagen ein.

Sick AG www.sick.de

ACI-Ecotec GmbH & Co. KG www.aci-ecotec.de